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薄膜厚度轮廓测量仪 α-step
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技术原理

薄膜厚度轮廓测量仪主要是利用钻石所制作的尖头探针去扫描物体表面,以得到表面轮廓的信息。在探针扫描的运动轨迹横过物体表面,并利用一导体传感器记录了针尖的垂直运动变化。经由针尖运动产生的讯号,可以显示待测物体的一维表面轮廓。藉由表面轮廓可得知样品之高低起伏的形貌以及粗糙度,判断样品之精度。 

分析应用

•1.量测一维表面轮廓

•2.藉由阶差 (step height)量测薄膜的厚度 (thickness)

•3.深度(depth)分析

•4.一维线性粗糙度分析

•5.分析样品最大尺寸: 200mm (8吋晶圆)

•6.最大量测长度: 55mm; 高度: 1.2mm (Z-range)

机构简介

闳康技术检测(上海)有限公司于2006年3月在张江高科技园区成立,目前在张江高科技园区和金桥工业园区共有4间实验室,致力于为高科技产品提供失效分析、结构分析、材料分析及可靠性测试等全面的诊断服务,已成为国内IC设计、晶圆代工,封装测试以及TFT-LCD、LED、太阳能电池、奈米组件等高科技产业的专业研发伙伴。 为了给高科技产品提供精准的诊断结果,闳康各实验室所使用的分析检测设备性能优越、品种齐全,从非破坏性检测的设备,如X光扫描机(X-ray)、超音波扫描机(SAT)到失效分析所需的设备如去封胶(Decapsulation)、试片制备、打线、失效点定位用微光显微镜(EMMI,OBIRCH, InGaAs detector)、聚焦式离子束显微镜(FIB)、扫描式电子显微镜(SEM),以及可靠度验证所需的高温寿命试验(HTOL)、温度冲击试验(TST)、温度循环试验(TCT)、高加速温湿度试验(HAST)等机台,均采用世界知名品牌。各产品分析、故障分析乃至于静电防护测试(ESD)、可靠度验证的服务设备一应俱全。近年来国内高科技产业发展迅猛,为了符合客户的多元分析需求,上海闳康更陆续引进了穿透式电子显微镜TEM、二次离子质谱仪SIMS、X光光电子能谱仪XPS、3D X光扫描机(3D X-ray)、MK.4 静电放电和闩锁测试系统等处于国际领先地位的高端分析设备,为客户产品提供更加精确高效的诊断服务。 好医院不仅需要好设备,更需要技术精良的好医生以及一切为病人着想的服务态度。闳康不仅有业界领先的分析测试设备,更拥有一支坚强的专业技术团队。闳康的技术团队主要来自国际级半导体厂的分析实验室和研发部门,资深主管平均有十年以上业界资历。他们凭借深厚的技术经验能快速深入得了解客户需求,并给客户提供有效的分析测试方案。同时为了帮助客户提高产品研发效率和制程良率,闳康提供365天,24小时不间断的专业服务,并在提供精准分析结果的基础上给客户提供进一步的诊断咨询服务,更可为客户量身订制专案计划服务。 上海闳康已先后通过ISO 9001质量体系认证、IECQ17025专业实验室质量认证以及ISO/IEC 27001信息安全认证,可提供具有法律效力的分析测试报告。加盟上海市研发公共平台和牵翼网后,上海闳康在2016年度和2017年度均荣获“上海市科技创新券优秀服务机构”荣誉称号,是高科技产业值得信赖的医学中心和研发伙伴。

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