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材料表面分析(原子力显微镜 AFM)
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技术原理

原子力显微镜(Atomic Force Microscope)是利用奈米尺寸的探针在样品表面做扫描,藉由原子之间的凡得瓦尔作用力产生接触与排斥现象、再配合探针悬臂(cantilever)作为雷射光的反射介面,当探针因表面作用吸引排斥而导致雷射的偏移量,记录这些偏移数值即可呈现出样品的表面形貌。早期量测表面形貌模式是以接触式(Contact mode)探针扫描方式进行,近来多以轻敲式(Tapping mode)为主,可以降低探针因表面静电或其他污染的影响,并改善接触式造成的刮伤问题。近年来AFM开发很多的量测应用:如电性、磁性等,这些都必须搭配各式的探针与模组方能进行量测。所附加的SCM(Scanning Capacitor Microscope)功能,能提供半导体应用分析。

分析应用

1.表面100um范围以下的形貌量测(<100um surface morphology)

2.表面粗糙度分析(Roughness analysis)

3.微区尺寸,高度分析量测

4.3D影像分析

5.薄膜镀层、结构或缺陷影像扫瞄分析,最大样品尺寸8”wafer

机台种类(Bruker D3100, INNOVA, Multiprobe Hyperion)

机构简介

闳康技术检测(上海)有限公司于2006年3月在张江高科技园区成立,目前在张江高科技园区和金桥工业园区共有4间实验室,致力于为高科技产品提供失效分析、结构分析、材料分析及可靠性测试等全面的诊断服务,已成为国内IC设计、晶圆代工,封装测试以及TFT-LCD、LED、太阳能电池、奈米组件等高科技产业的专业研发伙伴。 为了给高科技产品提供精准的诊断结果,闳康各实验室所使用的分析检测设备性能优越、品种齐全,从非破坏性检测的设备,如X光扫描机(X-ray)、超音波扫描机(SAT)到失效分析所需的设备如去封胶(Decapsulation)、试片制备、打线、失效点定位用微光显微镜(EMMI,OBIRCH, InGaAs detector)、聚焦式离子束显微镜(FIB)、扫描式电子显微镜(SEM),以及可靠度验证所需的高温寿命试验(HTOL)、温度冲击试验(TST)、温度循环试验(TCT)、高加速温湿度试验(HAST)等机台,均采用世界知名品牌。各产品分析、故障分析乃至于静电防护测试(ESD)、可靠度验证的服务设备一应俱全。近年来国内高科技产业发展迅猛,为了符合客户的多元分析需求,上海闳康更陆续引进了穿透式电子显微镜TEM、二次离子质谱仪SIMS、X光光电子能谱仪XPS、3D X光扫描机(3D X-ray)、MK.4 静电放电和闩锁测试系统等处于国际领先地位的高端分析设备,为客户产品提供更加精确高效的诊断服务。 好医院不仅需要好设备,更需要技术精良的好医生以及一切为病人着想的服务态度。闳康不仅有业界领先的分析测试设备,更拥有一支坚强的专业技术团队。闳康的技术团队主要来自国际级半导体厂的分析实验室和研发部门,资深主管平均有十年以上业界资历。他们凭借深厚的技术经验能快速深入得了解客户需求,并给客户提供有效的分析测试方案。同时为了帮助客户提高产品研发效率和制程良率,闳康提供365天,24小时不间断的专业服务,并在提供精准分析结果的基础上给客户提供进一步的诊断咨询服务,更可为客户量身订制专案计划服务。 上海闳康已先后通过ISO 9001质量体系认证、IECQ17025专业实验室质量认证以及ISO/IEC 27001信息安全认证,可提供具有法律效力的分析测试报告。加盟上海市研发公共平台和牵翼网后,上海闳康在2016年度和2017年度均荣获“上海市科技创新券优秀服务机构”荣誉称号,是高科技产业值得信赖的医学中心和研发伙伴。

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