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1.服务简介：基于UV-LIGA工艺的NEMS技术开发是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术，制作高技术含量微机电一体化器件的服务。
2.服务内容：清洗、氧化、溅射、光刻、干法刻蚀、湿法腐蚀、电镀、SU-8去胶、切片机、磨片、抛光、金线键合机、铝线键合机、激光切割
3.适用范围：微传感器，微执行器的新产品研发，系统级集成，封装集成，微传感器与IC工艺兼容
4.服务流程：客户提出需求→与客户共同制定实施方案→填写委托单、工艺流转卡→审核、批准→提供加工服务→检验→合格→交付→填写服务报告单→客户签字确认
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5.收费方式：进入“上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台”网页，点击“用户中心--用户注册”进行注册成为会员，即可获得 “网上预约”等相关服务
上海交通大学成立于1896年，经过120多年的不懈努力，已经建设成为一所“综合性、创新型、国际化”的国内一流、国际知名大学。 学校共有34个学院/直属系，全日制本科生（国内）17606人，全日制研究生26944人，有专任教师3700名，中国科学院院士28名、中国工程院院士26名。学校现有本科专业75个，涵盖经济学、法学、文学、理学、工学、农学、医学、管理学和艺术等9个学科门类。学校有18个学科入选国家“双一流”建设学科，18个学科入选上海市高峰高原学科。学校科学研究与科技创新水平不断提高，20余年来，获得国家科技奖99项，上海市奖593项。学校以传承文明、探求真理为使命，以振兴中华、造福人类为己任，正向着中国特色世界一流大学目标奋进！
