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一、服务简介：
上海科技大学材料器件中心（SMDL平台）是上海科技大学于2019年12月设立的集成电路先进制造大型仪器设备共享平台。团队致力于为校内外客户提供镀膜、光刻、刻蚀、清洗、后道和量测等全流程微纳制造工艺开发、技术服务、工艺培训和设备自主操作服务,为客户提供一站式综合解决方案。
HBR刻蚀机 硅刻蚀（品牌：牛津仪器，型号：plasma 100）
1. 进样系统和反应腔室
1.1 自动真空进样装置（LoadLock），可传载4英寸及以下样片
1.2 整块铝锭制成的反应腔体，保证低的真空漏率
1.3 反应腔体配备有射频阻挡功能的等离子体观察窗口，并预留有终点监控窗口
1.4下电极尺寸≥240mm，可电阻丝加热以及采用冷水机控温,冷水机控温范围10℃~50℃，控温精度±0.5℃.
1.5 13.56MHz射频源，功率≥300W，可实现快速自动匹配
1.6 ICP源-3kW,13.56MHz射频发生器，直径180mm ,ICP源采用管式螺旋结构，提供等离子体浓度(>1011-1012cm-3)适宜且对样品低损伤.
1.7 ICP工艺腔室带200mm抽排气口和视窗
2. 真空系统
2.1 自动压力控制器
2.2 反应腔室配备分子泵应为抗腐蚀、磁悬浮结构，带自动吹扫功能
工艺腔室用分子泵采用Edwards STPA1603CV, 抽速1600l/s,前级泵采用Edwards IGX100N，抽速 100m³/hr. 预真空室采用Edwards nXDS15i干泵，抽速>15m³/hr
2.3 反应腔室漏率：<1mTorr/min
2.4 LoadLock真空系统与反应腔室真空系统相互独立
2.5系统启动30分钟内本底真空度(RH£70%) <2£10-5Torr
2.6极限真空度(在12小时以内) <3£10-6 Torr
3. 气路系统
3.1反应气路8路，配备8路气箱。
3.2 使用半导体设备通用质量流量计（MFC），无毒气体采用MKS 1179A、有毒气体采用MKS 1479A 、MFC控制精度+/-1%、MFC计量重复性+/-1%
3.3系统应具备压缩空气、冷却水欠压保护机构、真空互锁功能以及电源缺相报警功能
3.4系统软件应具备分级管理能力，管理员级和操作员级对系统的操作级别应有所不同。对于任何人员的操作行为机器都应留有记录
二、服务内容：
1.设备自主操作服务
2.工艺委托加工服务
三、服务流程：
1.自主操作：在线申请-签约付款—用户注册与审核—综合培训—设备培训—设备自主操作—结算开票
2.委托加工：在线上申请与报价—签约付款—样品寄达—现场委托加工—交付样品—结算开票
四、收费标准：
1.自主操作：1500元/小时
2.委托加工：2000元/小时（含设备计时费、工程师代工费）
五、联系方式
设备预约网址:
https://smdl.shanghaitech.edu.cn/2023/1018/c13395a1083805/page.htm
设备联系人：吴廷琪，邮箱：Wutq@shanghaitech.edu.cn 电话：021-20684742
材料器件中心官网：https://smdl.shanghaitech.edu.cn/
上海科技大学材料器件中心（ShanghaiTech Material and Device Lab，简称SMDL）是上海科技大学于2019年12月正式设立的面向全社会开放的集成电路先进制造领域的校级公共研发平台和教学实践育人基地。SMDL重点聚焦微电子、光电子和微机电领域的新一代芯片培育研发和人才培养，致力于开展三五族半导体、微纳电子器件、微机电系统、光电子器件、生物芯片等应用领域的材料生长和器件制备的科学研究和技术开发，促进相关学科交叉和合作研究，助力提升上海科技大学在材料、微电子、物理、化学等交叉学科科研实力、育人能力以及微纳制造技术领域的影响力和竞争力，努力建设成为具有重要国内外影响力的公共科研服务平台和创新人才培养基地。同时，中心也将积极与产业界合作，推动科研成果产业化，促进科技创新和经济发展。 一、平台硬件设施 SMDL微加工平台集半导体材料制备、微纳加工、量测技术于一体，拥有1500平方米的超净室，建有针对III-V族、超导和MEMS器件专用的4-6英寸工艺研发线，工艺线上拥有近百台套国内外先进的微纳加工与测试仪器设备，包括Stepper步进式光刻机、EBL电子束曝光机、AlN功能材料生长系统、扫描电子显微镜等大型先进设备，具备10纳米至微米级器件与图形的加工测试能力。超净室按照微加工流程进行布局，包括光刻区（ISO-5，黄光区）、镀膜区、干法刻蚀、湿法区、量测区以及部分前道和后道工艺扩展区。 设备导航 (shanghaitech.edu.cn) 二、运行服务团队 SMDL团队教职工共20余人，由技术专家、研究人员、工程师和运营管理人员组成，博士学位人员和高级职称人员占比45%，拥有10年本领域技术经验人员占比50%，是一支结构合理、技术精湛、经验丰富的平台运行和管理团队，可为平台运营、用户服务、技术开发、人才培养等工作提供强有力保障。 三、开放共享服务 SMDL开放运行4年以来，快速跻身国内主流的微加工平台。聚集了40多家校内外用户单位，用户总数逾600人，累计流片的国家级、省级及市区级科研项目逾200个，培训用户超5000人次，为客户提供代工服务上千次，服务单位包括我校及中科院相关研究所各课题组、其他学术及科研单位以及众多产业界高新技术企业。 四、工艺技术能力 SMDL在三五族半导体化合物材料、红外探测器、光电器件、微机电器件、超导器件研制及工艺开发等方面积累了较强实力，掌握相关方向核心技术，拥有一批自主知识产权，具备较强创新攻关能力和制造技术，正全力推进新型半导体材料与器件的研发和产业化。 SMDL不仅可提供高质量、稳定的设备服务，还为用户提供全方位的技术支持、咨询、培训和解决方案，致力于帮助解决微纳尺度级别的制造挑战和实践需求。至今已为若干家单位提供委托加工技术服务和开发服务，包括红外量子阱传感器、III-V族光电和硅光器件、超导探测器、铌酸锂薄膜及氮化铝薄膜器件等，并提供光刻、镀膜、刻蚀、量测、后道等单步和多步工艺的代工。 五、育人基地建设 随着我校“材料科学与工程专业”列入国家“双一流”学科建设第二批名单中，材料器件中心成为学校“双一流”建设的重要科研教学支撑和服务平台之一。2023年春学期起材料器件中心面向本研学生陆续开设《量子材料与微纳器件制造技术I、II》、《前沿工程技术创新与实践（微纳类）I、II、III》、《造芯大讲堂》等系列“分阶育人”微纳技术实训课程和产业报告。同时，结合中心“设施一流、产教融合”特色，中心依托信息学院“电子信息”和物质学院“材料与化工”两个专业硕士学位点，与相关产业界联合开展专业型硕士培养工作，致力于培育理论扎实、技术过硬的微纳制造工艺工程技术人才，真正满足产业一线的实际用人需求。预计2027年起在读研究生总人数将达到每年150人。 无论您是从事学术研究、工业开发还是技术创新，材料器件中心很荣幸成为您的最佳合作伙伴。通过我们卓越的技术和不断创新的研发，我们致力于推动微纳米科学和微加工技术的进步，为社会进步和创新发展做出重要贡献。
