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机构简介

上海市纳米核心技术实验室以建立高起点和开放的公共研发服务平台为目的,抢占先进纳米制造技术的制高点,在技术上不断的取得突破,并完善了实验室自身的建设。现拥有从涂胶、压印到刻蚀等一套系统完整的纳米压印加工工艺及设备,具有国际先进水平;纳米测试实验室拥有扫描电子显微镜、原子力显微镜、光学显微镜和台阶仪等一系列完善的纳米检测精密仪器。同时具备与实验设备配套的10级、1000级超净室,超纯水设备,特种气体、压缩空气和真空等气体系统,配套设施完善。

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