欢迎使用上海科技创新券
1.服务简介：
原子层沉积（Atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。
2.服务内容：
ALD工艺开发：如高k介质材料的开发验证，半导体材料的开发验证，如IGZO-TFT器件开发，有较高难度的非规则样品的均匀ALD沉积的工艺开发
ALD用前驱体验证：针对企业的研发的前驱体质量需求，开展工艺的开发与验证工作
ALD设备开发：工艺腔体的设计与整机的开发
ALD配件老化验证：针对ALD设备的通用零配件开展寿命方面的测试与验证
3.适用范围：
芯片，光伏，平板显示，电池，光学等领域
4.服务流程：
双方商讨技术方案，达成一致后报价，平台申请创新券
5.收费标准：
根据实际技术研发需求报价
6.服务团队：上海大学丁星伟副研究员从事ALD技术12年，受邀参加华为ALD技术的高峰论坛，同时也是中国ALD会议组委会委员，世界上第一台ALD公司BENEQ的技术评审专家，是国内较早开展ALD技术的团队。主要从事ALD技术的晶体管开发，目前ALD技术的IGZO已经达到量产要求。提供ALD工艺的开发，也可以定制ALD装备，团队服务的企业超过10家，均是ALD技术相关的委托服务。目前有一台12inchBENEQ机器，3台8inch机器。
上海大学是国内最早开展OLED基础研究和产业化探索的单位之一，也是国内最早建设AM OLED研发平台的单位之一。项目主要依托上海平板显示工程技术研究中心，同时也是新型显示技术及应用集成教育部重点实验室、TFT LCD关键材料及技术国家工程实验室建设单位。通过整合材料、机电、微电子、信息优势学科中与新型显示有关的资源，打造完成“平板显示”学科交叉和产学研基地。平台与上海及长三角地区的平板显示企业建立了密切的产学合作，有力支持了国家863“新型平板显示”重大项目课题、上海市高新技术产业化重大项目（4.5代AM-OLED中试线及产业化技术）、上海战略性新兴产业等若干重大科技任务的实施。在AM OLED、TFT－LCD、LED背光源等平板显示领域具有国内先进的集研发、分析测试平台等。在平板显示相关新型技术领域， 2014年成功申报“发光器件（OLED/LED）关键技术及新型显示和照明应用”上海市技术发明一等奖、2016年成功申报“平板显示高精细度图案化工艺和装备关键技术开发及应用”上海市科技进步一等奖。 2016年5月实验室已经获得了CNAS认可资质，并积极对接产业需求，服务各个企业。经过多年技术研发及积累，相关科研成果发表、技术能力积累、技术测试及分析能力等，在长三角乃至全国平板显示行业都具有一定的影响力。
