1. 服务简介：本服务致力于半导体制造中的8寸离子注入机的摆台电机定子国产化替代研发，研发可替代原机台的电机定子，并确保定子质量、安全性和合规性，满足离子注入机各种工况的使用需求。

2.服务内容：

1）8寸离子注入机电机定子结构设计：对原定子外型尺寸测绘、树脂材料成分分析、线圈空间布局及绕制方式扫描测绘、多线圈接线方式测量、各种工况下定子电流电压测量，研发可替代原机台的电机定子；

2）8寸离子注入机电机定子结构及工艺参数优化：运用ansys、maxwell及simplorer工具联合仿真，对原定子进行电磁场分析和设计，得到原定子电场、磁场和电流分布。通过修改模型的材料属性、几何形状和边界条件，优化定子结构设计和加工工艺，并预测系统性能，以解决原型样品的树脂长时间使用过程中鼓包、表皮皲裂的问题，提高定子产品使用寿命；

3）定子性能测试：包括外观检查、尺寸检查、材质检查、气孔和夹渣检查、耐压测试、热性能测试（包括热膨胀系数、热导率等）、性能测试（电气性能测试包括绝缘电阻、耐压试验等；机械性能测试包括拉伸强度、弯曲强度等）。

3.服务范围

半导体制造企业：非标电机定子配件国产化替代。

其他工业领域：非标电机定子配件研发。

4.服务流程：

1)需求分析：与客户沟通，了解其需求和目标

2)方案设计：基于需求分析结果，提出定制化的电机定子国产化替代研发方案

3)开发与实现：测绘原部件外型尺寸、空间布局、线圈绕制方式和多线圈接线方式，运用ansys、maxwell及simplorer等设计工具，对特殊摆台电机定子结构进行设计及优化，外协定制加工定子样品；

• 4)测试与验证：电机定子和树脂材料的功能测试，包括线圈电流电压、供电功率频率、耐候性、物理性能、化学性能、环境适应性、力学性能、磨损性能等;定子样品装入离子注入机，进行系统集成及实地测试，确保离子注入机功能和性能符合生产工艺要求；

5)优化与维护：不断优化定子国产化替代解决方案，提升其性能和功能。

5.服务团队：联系人：胡志华 18939919758

6.收费标准：总价25万元整。具体预算（参考价位）如下：

（1）电机定子结构测绘与实际使用工况研究，35000元；

（2）电机定子结构设计与优化，包括材料选择、模型开发、计算等，75000元；

（3）购买铁芯材料、导线材料和绝缘材料等原材料，45000元；

（4）涉及定子的绕线、绝缘处理、焊接、冲压等工艺的费用，20000元；

（5）加工工艺参数设计，试验制造电机定子的最佳工艺参数，35000元；

（6）测试电机定子性能，如绝缘测试、匝间测试、电压测试等，20000元；

（7）测试树脂性能，如机械性能、热稳定性、电气绝缘性能等，20000元；

7.服务团队：智能制造于控制工程学院，联系人：胡志华。