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1.服务简介：提供原子层沉积设备用国产关键零配件的协同开发与稳定性验证，致力于解决关键半导体装备的核心零配件国产化问题，突破国外技术封锁，促进我国半导体关键配件的替代。
2.服务内容：主要是先进制程所用的原子层沉积设备的关键零配件的开发与验证，改进等。
3.适用范围：原子层沉积装备零配件研发与生产相关
4.服务流程：需求方提供样品，服务方根据需方先期进行技术沟通，确认好开发与验证方案后，需方签订研发合同。
5.收费标准：800000元
6.服务团队：上海大学丁星伟副研究员，上海平板显示工程技术研究中心副主任，获上海市科技进步一等奖，上海市青年科技英才扬帆计划，第七届上海真空青年创新奖。主持国家级课题3项，主持ALD技术的企业横向课12项。在微电子领域权威期刊IEEE EDL，IEEE TED，Science Bulletin等发表SCI论文40余篇。授权发明专利3项，实用新型专利3项。从事ALD技术13年，受邀参加华为ALD技术的高峰论坛，同时也是中国ALD会议组委会委员，日本光驰半导体科技有限公司专家顾问，世界上第一台ALD公司BENEQ的技术评审专家，是国内较早开展ALD技术的团队。主要研究领域：氧化物薄膜晶体管、原子层沉积工艺开发、原子层装备开发。为法国液化空气集团（连续6年前驱体的验证）、华为、华星光电、维信诺、上海钧乾智能、思锐智能、中国建材院等企业提供了ALD技术服务。为我国某军舰成功开发了关键核心光学组件，为某面板厂成功开发了可以量产的高迁移率TFT器件，成功开发了ALD装备并在公司转化。目前实验室一台12inchBENEQ机器，3台8inch机器。
上海大学是国内最早开展OLED基础研究和产业化探索的单位之一，也是国内最早建设AM OLED研发平台的单位之一。项目主要依托上海平板显示工程技术研究中心，同时也是新型显示技术及应用集成教育部重点实验室、TFT LCD关键材料及技术国家工程实验室建设单位。通过整合材料、机电、微电子、信息优势学科中与新型显示有关的资源，打造完成“平板显示”学科交叉和产学研基地。平台与上海及长三角地区的平板显示企业建立了密切的产学合作，有力支持了国家863“新型平板显示”重大项目课题、上海市高新技术产业化重大项目（4.5代AM-OLED中试线及产业化技术）、上海战略性新兴产业等若干重大科技任务的实施。在AM OLED、TFT－LCD、LED背光源等平板显示领域具有国内先进的集研发、分析测试平台等。在平板显示相关新型技术领域， 2014年成功申报“发光器件（OLED/LED）关键技术及新型显示和照明应用”上海市技术发明一等奖、2016年成功申报“平板显示高精细度图案化工艺和装备关键技术开发及应用”上海市科技进步一等奖。 2016年5月实验室已经获得了CNAS认可资质，并积极对接产业需求，服务各个企业。经过多年技术研发及积累，相关科研成果发表、技术能力积累、技术测试及分析能力等，在长三角乃至全国平板显示行业都具有一定的影响力。
