1.服务简介：芯片制造设备中需要将不同类型、不同温度的气体进行分流，气体质量流量分流器可以将一路进气分成两路输出，输出的两路气体的流量比例可以通过两个流量控制器进行设定调整。 

2.服务内容：

设计、开发气体质量流量分流器控制算法，技术指标和参数要求如下：

流量精度：±2% 设定值；

流量控制范围：5-100% 满量程；

比例精度：±0.3% 设定值；

比例设定范围：1:1 – 20:1，20:1 – 1:1；

流量满量程：500SCCM。

控制器通讯方式：devicenet通讯。

3.服务范围：应用于半导体生产设备。

4.服务流程：需求分析—技术方案设计—原型开发—测试与验证—批量生产—交付与安装 。

5.服务团队：刘鸿勋 15895936201

6.收费标准：面议