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产品详情
1.服务简介：应用于微纳加工领域的深硅刻蚀技术研发和钨金属化学气相沉积薄膜的微孔填充性能研究。
2.服务内容：（1）深硅刻蚀技术研发，包括台阶覆盖率性能研究；孔隙填充性能研究；高深宽比应用新技术开发；（2）薄膜沉积微孔填充性能研究，包括刻蚀速率的改良研究、机理研究、Bosch工艺刻蚀和沉积步骤的切换和反应机理研究；刻蚀选择比的改良研究；均匀性改良研究；不同尺寸图形刻蚀深度差异性的研究；侧壁形貌和粗糙度的改善研究；不同深宽比蚀刻行为的差异性和机理研究；
3.适用范围：半导体设备领域刻蚀和薄膜沉积工序。
4.服务流程：双方根据项目需求协商具体流程，然后企业下单，下单之后，学校接单，双方签订合同。
5.收费标准：深硅刻蚀技术研发，5万元；
薄膜沉积微孔填充性能研究，5万元。
6.服务团队：上海海洋大学工程学院 许竞翔 13127510831
机构简介
上海港口及近海生态环境科技服务平台依托于上海海洋大学，是目前我国唯一拥有国内和国际认可资质（中国计量认证CMA资质、中国合格评定国家认可委员会CNAS资质、挪威船级社DNV GL实验室认可资质）的专业从事船舶压载水检测的实验室。 实验室成立于2008年，建有校内分析实验室和岸基试验基地。校内实验室面积约900㎡，拥有2000多万元的先进的检测设备；岸基试验基地位于洋山港二号码头，是我国唯一符合国际ETV（环境技术验证）标准的船舶压载水岸基试验基地，占地面积约为2500㎡。实验室拥有完善的质量管理体系，坚持“科学公正、准确高效、优质服务”的质量方针，严格按照ISO/IEC17025国际实验室管理规范管理，能够承接压载水相关的各类检测项目。
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