FIB(聚焦离子束)机台的应用即是将混合镓、液体及金属的离子源照射于样品表面,以取得影像或去除物质,此功能与SEM(扫描电子显微镜)相似。 但FIB的发送电压由30kv升至50kv,使镓离子以大于电子125倍的密度撞击样品表面,过程不需要加入卤气,而是以物理喷溅的方式让有机气体搭配电子或离子枪,有效剥除金属或硅氧层。
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ASSY快速封装
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EMMI(微光显微镜)
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SEM
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FIB(聚焦离子束系统)
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