扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、X光信号、背面射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。根据信号强度形成形貌照片，能高倍率观察表面外观形貌。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等。